[发明专利]离子束能量控制装置有效
| 申请号： | 201910340903.7 | 申请日： | 2019-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN111863576B | 公开（公告）日： | 2023-10-20 |
| 发明（设计）人： | 张劲;陈炯;夏世伟 | 申请（专利权）人： | 上海凯世通半导体股份有限公司;上海临港凯世通半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/304 | 分类号： | H01J37/304;H01J37/317 |
| 代理公司： | 上海弼兴律师事务所 31283 | 代理人： | 薛琦;张冉 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种离子束能量控制装置。其包括：入口端和出口端，所述入口端供离子束射入，所述出口端供离子束射出；若干电极对，每个电极对分别包括相对设置的第一电极和第二电极，所述第一电极和所述第二电极均为棒状，所述第一电极和所述第二电极之间的空间供离子束通过；所述若干电极对中至少一电极对形成第一电极群，施加至所述第一电极群的电压使得离子束向第一方向偏转；所述若干电极对中至少一电极对形成第二电极群，施加至所述第二电极群的电压使得离子束向第二方向偏转，所述第二方向与所述第一方向反向。本发明的离子束能量控制装置在电极形状、电极布局、束流调节等方面均具有较多优点。 | ||
| 搜索关键词： | 离子束 能量 控制 装置 | ||
【主权项】：
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