[发明专利]一种用于激光系统的自由曲面波前补偿元件的设计方法在审

专利信息
申请号: 201910341927.4 申请日: 2019-04-26
公开(公告)号: CN110133845A 公开(公告)日: 2019-08-16
发明(设计)人: 路晴;魏朝阳;邵建达;胡晨 申请(专利权)人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
主分类号: G02B27/00 分类号: G02B27/00
代理公司: 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 代理人: 张宁展
地址: 201800 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种用于激光系统的自由曲面波前补偿元件的设计方法,其中,该方法包括:通过畸变波前探测器探测激光系统输出的畸变波前,并将测量得到畸变波前的离散斜率数据(Sx,Sy)传输至计算机;采用多参数优化设计方法,以数值化正交多项式为基函数,拟合离散斜率数据,利用模式法进行曲面重构,获得畸变波前表征多项式W;根据波前相位互补原理,计算补偿激光系统畸变波前所需的自由曲面波前补偿元件面形表征多项式W*,实现激光系统畸变波前的校正。所述方法可用于复杂形状波前,且拟合精度高,具有很好的热稳定性,适合大功率激光系统畸变波前补偿。
搜索关键词: 畸变 激光系统 补偿元件 自由曲面 离散斜率 拟合 大功率激光系统 波前探测器 正交多项式 波前相位 复杂形状 互补原理 计算补偿 曲面重构 热稳定性 探测激光 系统输出 优化设计 多参数 基函数 模式法 数值化 可用 面形 校正 测量 传输 计算机
【主权项】:
1.一种用于激光系统的自由曲面波前补偿元件的设计方法,其特征在于,该设计方法包括如下步骤:步骤1)通过畸变波前探测器探测激光系统输出的畸变波前,并将测量得到畸变波前的离散数据斜率(Sx,Sy)传输至计算机;步骤2)计算获得畸变波前表征多项式W;步骤3)令补偿激光系统畸变波前(2)所需的自由曲面波前补偿元件面形表征多项式W*满足如下关系:当透射系统:满足W=‑W*;当反射系统:对于直射,满足W=2W*,对于斜入射,满足W=2W*·cosα,其中,α为入射角度。
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