[发明专利]检查系统以及检查系统的驱动方法在审

专利信息
申请号: 201910341946.7 申请日: 2019-04-25
公开(公告)号: CN110398495A 公开(公告)日: 2019-11-01
发明(设计)人: 加集功士 申请(专利权)人: 住友化学株式会社
主分类号: G01N21/88 分类号: G01N21/88;G01N21/01
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 刘文海
地址: 日本国*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 一种检查系统以及检查系统的驱动方法,效率良好地进行检查对象物的检查。检查系统(1)具备配置有射线源部(2)的第一室(41)以及与第一室(41)分开的被对射线源部(2)照射的电磁波进行屏蔽的壁包围的第二室(42),在第二室(42)中存放有隔膜卷绕体(10)。
搜索关键词: 检查系统 射线源部 第二室 第一室 检查对象物 驱动 隔膜卷绕 电磁波 屏蔽 照射 包围 配置 检查
【主权项】:
1.一种检查系统,其具备:射线源部,其照射透过检查对象物的电磁波;传感器部,其对所述射线源部照射且透过所述检查对象物后的所述电磁波进行检测;存放机构,其用于存放所述检查对象物;第一室及第二室,它们分别由对所述电磁波进行屏蔽的壁包围而成;以及第一屏蔽部,其设置为将所述第一室与所述第二室相连,且能够开闭,所述射线源部和所述传感器部配置于所述第一室内,所述存放机构配置于所述第二室内。
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