[发明专利]一种新型压电微泵

摘要

本发明公开了一种新型压电微泵，该压电微泵包括泵壳、压电元件、基板、挠性板和底板，所述泵壳为绝缘体，所述泵壳、基板、挠性板和底板之间依次密封连接，所述泵壳、基板、挠性板围成泵腔，所述压电元件安装在基板上，本发明科学合理，使用安全方便，设置有双梁对称悬臂和第二环状凸起，双梁对称悬臂均匀分布可以有效的减弱压电微泵在工作过程中的振动模态畸变，同时，将第二环状凸起设置在挠性板的弯曲振动波节处，也可以有效的减弱压电微泵工作过程中的振动模态畸变，同时，增设第二环状突起，可以抑制挠性板在流体中的自激共振，具有降噪功能，可以有效的延长压电微泵的使用寿命。

主权项

1.一种新型压电微泵，其特征在于，该压电微泵包括泵壳(1)、压电元件(2)、基板(3)、挠性板(4)和底板(5)，所述泵壳(1)为绝缘体，所述泵壳(1)、基板(3)、挠性板(4)和底板(5)之间依次密封连接，所述泵壳(1)、基板(3)、挠性板(4)围成泵腔(6)，所述泵壳(1)下表面安装有基板(3)，所述基板(3)为导体，所述基板(3)远离泵壳(1)的一面安装有挠性板(4)，所述挠性板(4)远离基板(3)的一面安装有底板(3)，所述基板(3)靠近泵壳(1)的一面安装有压电元件(2)，所述压电元件(2)位于泵腔(6)内且不与泵壳(1)接触；所述泵壳(1)包括出气口(101)、凹陷(102)和第一电极(103)；所述泵壳(1)靠近压电元件(2)的一侧开设有凹陷(102)，所述凹陷(102)贯穿壳体(1)开设有出气口(101)，所述壳体(1)侧壁安装有由内至外贯穿壳体(1)的第一电极(103)，所述第一电极(103)为导体。