[发明专利]透射电镜原位液体环境力学试验平台在审
| 申请号： | 201910347092.3 | 申请日： | 2019-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN110044700A | 公开（公告）日： | 2019-07-23 |
| 发明（设计）人： | 毛圣成;马东锋;韩晓东;栗晓辰;张剑飞;翟亚迪;李志鹏;李雪峤;张晴;马腾云;张泽 | 申请（专利权）人： | 北京工业大学 |
| 主分类号： | G01N3/08 | 分类号： | G01N3/08;G01N3/06;G01N3/02 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 苗青盛;谭云 |
| 地址： | 100022 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及材料原位微纳实验平台领域，提供一种透射电镜原位液体环境力学试验平台，包括样品杆和装载台，装载台包括下芯片、上芯片和加载器件。下芯片上表面设有第一凹槽，第一凹槽底面设有沟槽，沟槽的底面设有下薄膜窗口和两个第一通孔；上芯片的下表面设有第二凹槽和上薄膜窗口，第二凹槽和第一凹槽形成用于安装加载器件的容置空间，上芯片的上表面设有热电阻；上芯片下表面与下芯片上表面连接，加载器件下表面与第一凹槽底面连接，加载器件设有驱动梁，驱动梁设有样品搭载区；下薄膜窗口、样品搭载区和上薄膜窗口对中设置。本发明可实现对样品在液体腐蚀环境下力学测试，解决了目前透射电镜无法有效进行原位液体环境下力学测试的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 加载器件 上芯片 透射电镜 液体环境 上表面 下表面 下芯片 凹槽底面 力学测试 力学试验 驱动梁 上薄膜 下薄膜 装载台 凹槽形成 对中设置 腐蚀环境 容置空间 实验平台 热电阻 样品杆 底面 通孔 | ||
【主权项】：
1.一种透射电镜原位液体环境力学试验平台，包括样品杆和装载台，所述装载台安装于所述样品杆的观测端，其特征在于，所述装载台包括下芯片、上芯片和加载器件；所述下芯片上表面设有第一凹槽，所述第一凹槽的底面设有沟槽，所述沟槽的底面设有下薄膜窗口和两个第一通孔；所述上芯片的下表面设有第二凹槽和上薄膜窗口，所述第二凹槽和所述第一凹槽用于形成安装所述加载器件的容置空间，所述上芯片的上表面设有热电阻；所述上芯片的下表面与所述下芯片的上表面相连接，所述加载器件的下表面与所述第一凹槽的底面相连接，所述加载器件设有第二通孔，所述第二通孔内设有驱动梁，所述驱动梁与所述第二通孔的孔壁连接；所述驱动梁上设有样品搭载区，所述下薄膜窗口、所述样品搭载区和所述上薄膜窗口对中设置。
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