[发明专利]一种低成本的微波等离子体光源谐振器在审
| 申请号： | 201910347683.0 | 申请日： | 2019-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN110148551A | 公开（公告）日： | 2019-08-20 |
| 发明（设计）人： | 贾华;单家芳;刘甫坤;宦维定 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | H01J65/04 | 分类号： | H01J65/04 |
| 代理公司： | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 | 代理人： | 张果果 |
| 地址： | 230031 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种低成本的微波等离子体光源谐振器，耦合探针与输入同轴线的内导体连接并插入所述的空气耦合腔内，陶瓷谐振器的顶面、底面、前侧面和后侧面均采用金属化处理并接地，在陶瓷谐振器的右侧面上设置有上、下侧金属带，上侧金属带的上端与陶瓷谐振器顶面的金属面连接并接地，下侧金属带的下端与陶瓷谐振器底面的金属面连接并接地，在陶瓷谐振器的左侧面开有半圆柱形沟槽，在沟槽内设有上下两段不连接的金属化处理部分，在上侧金属带和上侧金属化处理部分之间以及下侧金属带与下侧金属化处理部分之间分别开有深过孔。本发明减少陶瓷块烧结时的炸裂现象，烧成后尺寸不易变形，精度高，提高了产品的成品率，大幅度地降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 陶瓷谐振器 金属带 金属化处理 接地 微波等离子体 低成本 金属面 谐振器 光源 半圆柱形沟槽 炸裂 不易变形 空气耦合 上下两段 耦合探针 烧结 成品率 后侧面 内导体 前侧面 陶瓷块 同轴线 左侧面 上端 底面 顶面 腔内 烧成 下端 | ||
【主权项】：
1.一种低成本的微波等离子体光源谐振器，其特征在于：包括有输入同轴线、耦合探针、空气耦合腔和陶瓷谐振器，所述的耦合探针与输入同轴线的内导体连接并插入所述的空气耦合腔内，所述的陶瓷谐振器为长条形长方体瓷块，陶瓷谐振器的顶面、底面、前侧面和后侧面均采用金属化处理并接地，在陶瓷谐振器的右侧面上设置有上、下侧金属带，上侧金属带的上端与陶瓷谐振器顶面的金属面连接并接地，下侧金属带的下端与陶瓷谐振器底面的金属面连接并接地，在陶瓷谐振器的左侧面开有半圆柱形沟槽，在沟槽内设有上下两段不连接的金属化处理部分，在上侧金属带和上侧金属化处理部分之间以及下侧金属带与下侧金属化处理部分之间分别开有深过孔，在两个深过孔的内壁均作导电金属化处理，所述的陶瓷谐振器的右侧面与空气耦合腔的左侧面接触并固定连接。
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