[发明专利]一种用于光学元件缺陷检测的拼接式条形激光装置在审
申请号: | 201910354065.9 | 申请日: | 2019-04-29 |
公开(公告)号: | CN109932826A | 公开(公告)日: | 2019-06-25 |
发明(设计)人: | 刘昂;赵智亮;徐凯源;柴立群;李强;高波;赵子嘉;何宇航 | 申请(专利权)人: | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
主分类号: | G02B27/09 | 分类号: | G02B27/09;G02B27/00;G02B7/02;G01N21/88 |
代理公司: | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人: | 汤春微 |
地址: | 621900*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于光学元件缺陷检测的拼接式条形激光装置,涉及光学元件检测装置技术领域,本发明包括若干组水平布置的光束形成机构,光束形成机构均包括从右到左依次布置的基础光源、准直透镜、扩束凹镜和柱面准直镜,准直透镜为平凸柱面透镜A,平凸柱面透镜A的平面一端靠近基础光源,扩束凹镜为平凹柱面透镜A,柱面准直镜包括组合在一起的平凹柱面透镜B和平凸柱面透镜B,平凹柱面透镜B的平面一端靠近平凹柱面透镜A,平凸柱面透镜B的平面一端靠近平凹柱面透镜B,平凸柱面透镜B的凸面为出光面,本发明具有加工成本低、加工难度低、输出光束质量高的优点。 | ||
搜索关键词: | 平凹柱面透镜 平凸柱面透镜 柱面准直镜 光束形成 光学元件 基础光源 缺陷检测 条形激光 准直透镜 拼接式 凹镜 扩束 光学元件检测 装置技术领域 凸柱面透镜 输出光束 依次布置 出光面 组水平 凸面 加工 | ||
【主权项】:
1.一种用于光学元件缺陷检测的拼接式条形激光装置,其特征在于,包括若干组水平布置的光束形成机构,光束形成机构均包括从右到左依次布置的基础光源(1)、准直透镜(2)、扩束凹镜(3)和柱面准直镜(4),准直透镜(2)为平凸柱面透镜A,平凸柱面透镜A的平面一端靠近基础光源(1),扩束凹镜(3)为平凹柱面透镜A,柱面准直镜(4)包括组合在一起的平凹柱面透镜B(4.1)和平凸柱面透镜B(4.2),平凹柱面透镜B(4.1)的平面一端靠近平凹柱面透镜A,平凸柱面透镜B(4.2)的平面一端靠近平凹柱面透镜B(4.1),平凸柱面透镜B(4.2)的凸面为出光面。
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