[发明专利]一种校准用纳米几何量标准样板及其制备方法在审
| 申请号： | 201910354947.5 | 申请日： | 2019-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN110054150A | 公开（公告）日： | 2019-07-26 |
| 发明（设计）人： | 王琛英;蒋庄德;林启敬;李磊;刘明;张易军;韩枫 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | B82B1/00 | 分类号： | B82B1/00;B82B3/00;B82Y35/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 徐文权 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种校准用纳米几何量标准样板及其制备方法，校准用纳米几何量标准样板，包括基底、第一薄膜和基底上的纳米几何量结构，第一薄膜设置于纳米几何量结构的表面。制备该样板时，先在基底上制备出纳米几何量结构；再在纳米几何量结构的表面沉积第一薄膜，通过控制第一薄膜的厚度对纳米几何量结构的长度、线宽以及占空比进行调制，获得校准用纳米几何量标准样板。本发明的纳米标准样板适用于原子力显微镜、白光干涉显微镜和扫描探针显微镜等微纳米测量仪器的校准以及溯源。本发明可以实现纳米几何量样板特征尺寸快速精确可调，在标准样板制备领域具有重要的潜在应用。 | ||
| 搜索关键词： | 几何量 标准样板 校准 制备 薄膜 基底 样板 扫描探针显微镜 原子力显微镜 白光干涉 表面沉积 测量仪器 纳米标准 样板特征 微纳米 占空比 显微镜 可调 线宽 调制 溯源 应用 | ||
【主权项】：
1.一种校准用纳米几何量标准样板，其特征在于，包括基底(1)、第一薄膜(5)和基底(1)上的纳米几何量结构(4)，第一薄膜(5)设置于纳米几何量结构(4)的表面，通过调整第一薄膜(5)的厚度能够对纳米几何量结构的长度、线宽以及占空比进行调制。
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