[发明专利]位移的光学测量有效
| 申请号： | 201910357997.9 | 申请日： | 2019-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN110425981B | 公开（公告）日： | 2021-07-09 |
| 发明（设计）人： | T·雷;N·J·杰克瑟;N·T·科尔菲斯;C·M·汉纳;M·A·彻维兹 | 申请（专利权）人： | 美国亚德诺半导体公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 周阳君 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及位移的光学测量。用于光学测量元件位移的系统和方法，包括：用于发射光学信号的发射器；用于检测来自所述元件的光学信号的反射的第一检测器；用于检测来自凸起的盖子结构的光学信号的反射的第二检测器；处理器，用于接收来自所述第一和第二检测器的检测的反射，并使用来自所述第二检测器的检测的反射来除去来自所述第一检测器的检测的反射中的畸变。 | ||
| 搜索关键词： | 位移 光学 测量 | ||
【主权项】：
1.一种用于测量元件位移的光学系统，包括：位于第一表面上用于发射光学信号的发射器；从所述第一表面位移的凸起的盖子结构；用于检测来自所述元件的光学信号的反射的第一检测器；用于检测来自所述凸起的盖子结构的光学信号的反射的第二检测器；和处理器，用于接收来自所述第一和第二检测器的检测的反射，并使用来自所述第二检测器的检测的反射来除去来自所述第一检测器的检测的反射中的畸变。
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