[发明专利]一种多轴联动精密机床二维动态定位精度测量方法在审
| 申请号： | 201910358530.6 | 申请日： | 2019-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN109909808A | 公开（公告）日： | 2019-06-21 |
| 发明（设计）人： | 刘晓军;汪依思;刁宽;杨文军 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | B23Q17/24 | 分类号： | B23Q17/24 |
| 代理公司： | 北京金智普华知识产权代理有限公司 11401 | 代理人： | 杨采良 |
| 地址： | 430074 *** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多轴联动精密机床二维动态定位精度测量方法，激光器模块发出的激光束经过分光后分成两路，其中一路进入X轴干涉计量模块，另外一路进入Z轴干涉计量模块；X轴干涉计量模块和Z轴干涉计量模块分别位于高精度标准块相互垂直的两个方向，分别用于测量X方向和Z方向的动态位移；信号采集和处理模块用于对两个方向的信号进行同步分析，得到机床的二维动态定位精度特性。该方法基于高精度标准件与激光干涉仪，不仅能够实现多轴联动精密机床二维动态定位精度高精度测量，实现其多轴联动动态定位精度特性的表征，而且高度集成化，操作简单，具有较高的测量效率。 | ||
| 搜索关键词： | 动态定位 多轴联动 计量模块 二维 精密机床 干涉 精度测量 精度特性 信号采集和处理 高精度测量 激光干涉仪 激光器模块 标准件 测量效率 动态位移 高度集成 精度标准 同步分析 垂直的 激光束 分光 两路 机床 测量 | ||
【主权项】：
1.一种多轴联动精密机床二维动态定位精度测量方法，其特征在于：测量设备包括高精度标准块(14)、激光器模块、X轴干涉计量模块、Z轴干涉计量模块和信号采集与处理模块；所述激光器模块和X轴干涉计量模块、Z轴干涉计量模块相连，所述X轴干涉计量模块、Z轴干涉计量模块分别与信号采集与处理模块相连；所述激光器模块发出的激光束经过分光后分成两路，其中一路进入X轴干涉计量模块，另外一路进入Z轴干涉计量模块；所述X轴干涉计量模块和Z轴干涉计量模块分别位于高精度标准块(14)相互垂直的两个方向，分别用于测量X方向和Z方向的动态位移；所述信号采集和处理模块用于对两个方向的信号进行同步分析，得到机床的二维动态定位精度特性。
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