[发明专利]电子束斑标定装置和方法

摘要

本申请提出一种电子束斑标定装置和方法，装置包括：电子束发生装置、信号采集装置、标定板、真空室和计算机设备。该装置基于计算机设备和信号采集装置的结构，通过计算机设备控制电子束发生装置产生和驱使电子束按照预设轨迹扫描标定板产生过程信号，利用信号采集装置实时采集过程信号，利用计算机设备对过程信号进行处理，确定电子束位置偏差、束斑圆度和束斑尺寸，根据位置偏差、束斑圆度和束斑尺寸，调整电子束发生装置的位置状态矩阵、像散状态矩阵和聚焦状态矩阵，与传统的基于肉眼观察和基于成像的标定方式相比，避免了因视角倾斜导致的图像畸变的影响，具有较高的可靠性高和精度，同时大幅提高了标定效率。

主权项

1.一种电子束斑标定装置，其特征在于，包括：电子束发生装置、信号采集装置、标定板、真空室和计算机设备；所述电子束发生装置，用于产生电子束并控制所述电子束的像散、聚焦和偏转；所述计算机设备，用于控制所述电子束发生装置产生和驱使所述电子束按照预设轨迹扫描所述标定板产生过程信号，所述过程信号是所述电子束扫描所述标定板的过程中产生的信号；所述标定板位于真空室内，具有能够导致过程信号产生变化的结构或材料特征；所述信号采集装置，用于实时采集所述过程信号，包括信号传感器，所述信号传感器采集所述过程信号；信号放大器，所述信号放大器连接所述信号传感器，用于放大所述过程信号；AD采集卡，所述AD采集卡连接所述信号放大器采集放大后的过程信号；所述计算机设备，还用于根据所述过程信号，计算标定点处电子束的位置偏差、束斑圆度和束斑尺寸，并根据所述位置偏差、束斑圆度和束斑尺寸，调整所述电子束发生装置的位置状态矩阵、像散状态矩阵和聚焦状态矩阵。