[发明专利]图像传感器及其形成方法

摘要

一种图像传感器及其形成方法，所述图像传感器包括：半导体衬底，所述半导体衬底具有光电感应单元；光电二极管组，位于所述光电感应单元内；控制栅极，位于所述光电感应单元，所述控制栅极自所述半导体衬底表面沿所述中心轴向所述半导体衬底内部延伸；多个第一浮置扩散区，所述第一浮置区域是指所述光电感应单元的围绕所述控制栅极的部分；多个第二浮置扩散区，所述第二浮置区域是指所述光电感应单元的围绕所述第一浮置区域的部分。本发明方案在减小器件面积和维持较高灵敏度的同时，可以通过利用第二浮置扩散区，有机会选择适当的浮置扩散区以改变总电容大小。

主权项

1.一种图像传感器，其特征在于，包括：半导体衬底，所述半导体衬底具有光电感应单元；光电二极管组，位于所述光电感应单元内，且所述光电二极管组中的多个光电二极管围绕所述光电感应单元的中心轴分布；控制栅极，位于所述光电感应单元，所述控制栅极自所述半导体衬底表面沿所述中心轴向所述半导体衬底内部延伸；多个第一浮置扩散区，在第一浮置区域围绕所述光电感应单元的中心轴分布，所述多个第一浮置扩散区与所述多个光电二极管一一对应，所述第一浮置区域是指所述光电感应单元的围绕所述控制栅极的部分；多个第二浮置扩散区，在第二浮置区域围绕所述光电感应单元的中心轴分布，所述多个第二浮置扩散区与所述多个第一浮置扩散区一一对应，所述第二浮置区域是指所述光电感应单元的围绕所述第一浮置区域的部分。