[发明专利]一种多气体传感器

摘要

本发明公开了一种多气体传感器及其制备方法，包括感测电极层、固体电解质层、内参比电极层和密封层。感测电极层至少包括两个间隔设置排列成行的感测电极，内参比电极层至少分布设置一个内参比电极，感测电极与内参比电极被所述固体电解质层隔离，分布于固体电解质层的对侧，所述内参比电极为复合电极，相互之间协同配伍，不仅将电极的反应场所从二维平面扩展至内参比电极整个三维空间，大大提高了响应效率，而且将高熔点氧化物分散在整个内参比电极内，抑制金属颗粒的长大，并且该复合电极产生的平衡氧浓度很低，提高了其灵敏度和准确度。本发明的传感器结构简单，体积小，进一步提高响应速度，降低运行能耗，扩展其应用范围。

主权项

1.一种多气体传感器，其特征在于，包括感测电极层、固体电解质层、内参比电极层和密封层；所述感测电极层至少包括两个间隔设置排列成行的感测电极，所述各个感测电极对应设置有感测电极集流层和感测电极导线引脚，所述感测电极导线引脚的一端通过引线与对应位置上的感测电极集流层连接，另一端通过引线向所述传感器外延伸形成引出端，所述感测电极集流层用于收集感测电极产生的电信号；所述固体电解质层至少包括一层电解质，所述感测电极与所述内参比电极被所述固体电解质层隔离，分布于所述固体电解质层的对侧；所述内参比电极层至少分布设置一个内参比电极，所述各个内参比电极对应设置有内参比电极集流层和内参比电极导线引脚，所述内参比电极导线引脚一端通过引线与内参比电极集流层连接，另一端通过引线穿过密封层向外延伸形成引出端，所述内参比电极集流层用于收集内参比电极产生的电信号；所述固体电解质层在所述内参比电极侧的表面上还设置有密封层，使所述内参比电极置于密封层内，用于密封内参比电极并与外界无可察觉的气体交换；所述内参比电极包括二元混合物M/MO；所述感测电极导线引脚和内参比电极导线引脚的引出端分别与同一电压表的两接线端连接。