[发明专利]感光性树脂组合物、感光性干膜及其制造方法、抗蚀剂膜、基板及镀敷造形物的制造方法在审
| 申请号： | 201910364760.3 | 申请日： | 2019-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN110471257A | 公开（公告）日： | 2019-11-19 |
| 发明（设计）人： | 川上晃也;片山翔太;海老泽和明 | 申请（专利权）人： | 东京应化工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;G03F7/004 |
| 代理公司： | 31291 上海立群专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 毛立群<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的技术问题在于提供高灵敏度且容易形成截面形状为矩形的抗蚀剂图案的化学放大型正型感光性树脂组合物、具备由该化学放大型正型感光性树脂组合物构成的感光性树脂层的感光性干膜、该感光性干膜的制造方法、使用所述的化学放大型正型感光性树脂组合物的图案化的抗蚀剂膜的制造方法、使用所述的化学放大型正型感光性树脂组合物的带铸模的基板的制造方法、和使用该带铸模的基板的镀敷造形物的制造方法。本发明的解决方案在于使化学放大型正型感光性树脂组合物中含有路易斯酸性化合物(C)，所述化学放大型正型感光性树脂组合物包含通过活性光线或放射线的照射而产生酸的产酸剂(A)、和对碱的溶解性因酸的作用而增大的树脂(B)。 | ||
| 搜索关键词： | 正型感光性树脂组合物 化学放大型 感光性干膜 基板 制造 铸模 路易斯酸性化合物 感光性树脂层 抗蚀剂图案 高灵敏度 活性光线 截面形状 抗蚀剂膜 产酸剂 放射线 图案化 造形物 增大的 树脂 镀敷 照射 | ||
【主权项】：
1.一种化学放大型正型感光性树脂组合物，其含有通过活性光线或放射线的照射而产生酸的产酸剂(A)、对碱的溶解性因酸的作用而增大的树脂(B)、和路易斯酸性化合物(C)。/n
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