[发明专利]一种膜厚测量方法、系统及化学机械抛光装置有效
| 申请号： | 201910365388.8 | 申请日： | 2019-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN110044249B | 公开（公告）日： | 2020-09-15 |
| 发明（设计）人： | 路新春;田芳馨;王佩佩;赵慧佳;王同庆 | 申请（专利权）人： | 清华大学;华海清科股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B7/06 | 分类号： | G01B7/06;B24B37/005;B24B37/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明适用于化学机械抛光技术领域，提供了一种膜厚测量方法、系统及化学机械抛光装置，其中方法包括：获取膜厚传感器的输出信号与晶圆膜厚的映射关系；利用所述映射关系，将所述膜厚传感器在线测量时输出的信号值转换为膜厚值。实现了快速而准确的在线膜厚测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测量方法 系统 化学 机械抛光 装置 | ||
【主权项】：
1.一种膜厚测量方法，其特征在于，包括：获取膜厚传感器的输出信号与晶圆膜厚的映射关系；利用所述映射关系，将所述膜厚传感器在线测量时输出的信号值转换为膜厚值。
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