[发明专利]三轴微型传感器高低温测试装置及其测试方法

摘要

三轴微型传感器高低温测试装置，包括温箱、主转轴系统、副转轴系统和测试板；主转轴系统包括主马达、主转轴和配重；副转轴系统包括副马达、底盘和三个定向柱，主马达驱动副转轴系统、测试板及待测样品旋转，为待测样品提供旋转激励信号；副马达驱动三个定向柱沿主转轴斜面旋转0°、+120°、‑120°，测试板和副转轴系统位于温箱内，可以测试待测样品在不同温度下的性能。本装置只需一个主马达和一个副马达，就可驱动测试板，对待测样品施加X、Y、Z三个轴向的激励信号，具有体积小，控制简单，造价低，产能高等优点。本发明还涉及三轴微型传感器的高低温测试方法，该方法操作简单，同时测试三个轴向的信号，一次可以测试多个样品，产能高。

主权项

1.三轴微型传感器高低温测试装置，包括温箱、主转轴系统、副转轴系统和测试板，测试板和副转轴系统均位于温箱内；其特征在于：主转轴系统由主马达、主转轴和配重构成，主转轴的第一端具有主转轴斜面，主转轴斜面与主转轴轴向成35.3°夹角，主转轴的第一端穿过温箱底板的开口并伸入温箱的保温腔内，主转轴的第二端位于温箱外且与主马达连接，主转轴的旋转轴向与主马达的旋转轴向一致，配重安装在主转轴上，且位于主转轴斜面的相对侧；副转轴系统由副马达、底盘和三个定向柱构成，底盘呈柱形，底盘具有相互平行的顶平面和底平面，三个定向柱的端面均与各自的轴向相垂直，三个定向柱都固定在底盘上，三个定向柱的轴向相互垂直，且与底盘的底平面均成35.3°夹角，底盘与副马达连接，底盘的底平面垂直于副马达的旋转轴向，副马达固定在主转轴斜面上，副马达的旋转轴向与主转轴斜面相垂直；三块测试板分别固定在三个定向柱的端面上，测试板上具有线路布局，三轴微型传感器待测样品安装在测试板上并通过导线与电信号测试仪器相连。