[发明专利]一种晶圆对准方法及其预对准机构、搬运机械手臂

摘要

本发明的晶圆对准方法及其预对准机构和搬运机械手臂，涉及一种用于晶圆传输领域的工艺及装置。其目的是为了提供一种结构简单、成本低、操作简便的晶圆对准方法及其预对准机构、搬运机械手臂。本发明主要借助带有预对准功能的晶圆搬运机械手臂底部，设有一部直驱电机，带动整个对准机构做围绕竖直轴旋转的旋转运动，该机构主体是由电机通过同步带进而驱动末端执行器做伸缩运动的机械手臂机构，也可能是直线电机直接驱动末端执行器做伸缩运动。在机械手臂内部安装一晶圆预对准机构，其升降运动由气缸驱动，旋转运动由一直驱电机驱动。这样在机械手的末端执行器取到晶圆后可直接进行预对准行为，并在对准后直接取走晶圆运动到指定位置放置晶圆，大大节省了以往从晶圆拾取点移动到与对准机构的这段时间。

主权项

1.一种晶圆对准方法，其特征在于，包括步骤：步骤1，由机械手取出晶圆；步骤2，将该晶圆运送至晶圆预对准机构的回转中心处；步骤3，旋转该晶圆，找到晶圆的实际圆心；步骤4，由该机械手调整该晶圆的位置，使得该晶圆的实际圆心与该晶圆预对准机构的回转中心重合；步骤5，再进行旋转寻找缺口步骤，完成对准工作。