[发明专利]二维扫描装置及其驱动方法

摘要

本发明提供了一种二维扫描装置及其驱动方法。所述二维扫描装置包括：扫描部及驱动部；扫描部包括扫描板、和沿第一轴线或第二轴线的方向延伸的多个扭转臂，所述第一轴线与所述第二轴线相垂直，多个扭转臂包括沿第一轴线延伸的第一扭转臂、沿第二轴线延伸的第二扭转臂、以及沿平行于第一轴线的方向延伸的第三扭转臂；驱动部适于通过驱动信号驱动扫描部，第一扭转臂、第二扭转臂和第三扭转臂适于在驱动信号的作用下分别以各自的工作频率振荡，其中，第二工作频率大于第一工作频率，且第三工作频率是第二工作频率的偶数倍，以使得扫描板对目标空间进行近似光栅式的二维扫描。

主权项

1.一种二维扫描装置，其特征在于，包括：扫描部及驱动部；其中，所述扫描部，包括：扫描板、和沿第一轴线或第二轴线的方向延伸的多个扭转臂，所述第一轴线与所述第二轴线相互垂直，所述多个扭转臂包括：沿所述第一轴线延伸的第一扭转臂、沿所述第二轴线延伸的第二扭转臂、以及沿平行于所述第一轴线的方向延伸的第三扭转臂；所述驱动部，适于通过驱动信号驱动所述扫描部摆动，所述第一扭转臂、所述第二扭转臂和所述第三扭转臂适于在所述驱动信号的作用下分别以第一工作频率、第二工作频率和第三工作频率振荡，其中，所述第二工作频率大于所述第一工作频率，且所述第三工作频率是所述第二工作频率的偶数倍，以使得所述扫描板近似对目标空间进行光栅式二维扫描。