[发明专利]一种自动测试高功率连续激光损伤阈值的方法在审

专利信息
申请号: 201910368777.6 申请日: 2019-05-05
公开(公告)号: CN110161040A 公开(公告)日: 2019-08-23
发明(设计)人: 李昌立;魏智;王耀德;马遥;王頔;张巍;苑博识;金光勇 申请(专利权)人: 长春理工大学
主分类号: G01N21/88 分类号: G01N21/88
代理公司: 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 代理人: 李冉
地址: 130000 *** 国省代码: 吉林;22
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摘要: 发明公开了一种自动测试高功率连续激光损伤阈值的方法,涉及三维电控目标靶台系统、激光损伤时刻监测系统、损伤用激光器系统和程控计算机等之间的协调和工作。工作时,将指示光、照明激光、瞄准激光与损伤激光共点。当靶材损伤时,靶材表面的损伤点引起照明激光散射特性的变化,计时计算机根据此变化给程控计算机发出停止激光辐照信号,程控计算机根据激光辐照时间和损伤激光功率,结合作用在靶材上的激光光斑大小,确定目标材料的激光损伤阈值。本发明公开的测试方法适用于高功率连续激光损伤阈值自动测试,也适用于超连续或高重频激光损伤阈值的自动测试,既适用于透明材料损伤阈值的测试,也适用于非透明材料损伤阈值的测试。
搜索关键词: 损伤 自动测试 程控计算机 激光损伤 连续激光 高功率 激光辐照 照明激光 测试 靶材 激光 非透明材料 激光器系统 靶材表面 激光功率 激光光斑 监测系统 目标材料 散射特性 透明材料 损伤点 指示光 电控 靶台 共点 三维 计时 瞄准 计算机 协调
【主权项】:
1.一种自动测试高功率连续激光损伤阈值的方法,其特征在于,包括以下装置:三维电控目标靶台系统(100)、激光损伤时刻监测系统(200)、损伤用激光器系统(300)和程控计算机(400);所述三维电控目标靶台系统(100)包括靶材及三维电控目标靶台,所述靶材固定在所述三维电控目标靶台上;所述损伤用激光器系统(300)包括同轴设置的损伤用激光器(303)以及瞄准激光器(304),且按照所述损伤用激光器(303)发出的损伤激光以及瞄准激光器(304)发出的瞄准激光传播方向上设置有激光扩束系统(302)和损伤激光聚焦系统(301),所述损伤用激光器(303)与激光电源(305)电相连;所述激光损伤时刻监测系统(200)按照照明激光传播方向依次设置有聚焦透镜一(201)、聚焦透镜二(202)、双色反射镜(205)、窄带滤光片(206)、聚焦透镜三(207)、光电探测器(208)、前放及比较电路(209)和计时计算机(210);所述激光损伤时刻监测系统(200)按照指示光传播方向依次设置有指示光激光器(204)、激光扩束准直镜(203)、所述双色反射镜(205)、所述聚焦透镜二(202)和所述聚焦透镜一(201);所述激光损伤时刻监测系统(200)还包括照明激光器(211),所述照明激光器(211)发出所述照明激光,且所述指示光和所述照明激光的散射光共用所述双色反射镜(205)、所述聚焦透镜二(202)和所述聚焦透镜一(201);所述前放及比较电路(209)与所述计时计算机(210)电连接,所述程控计算机(400)与所述三维电控目标靶台、所述激光电源(305)和计时计算机(210)电连接,且所述程控计算机(400)控制所述三维电控目标靶台和所述激光电源(305),所述程控计算机(400)受控于所述计时计算机(210);该方法包括系统瞄准阶段和辐照阶段;所述系统瞄准阶段包括以下步骤:步骤一:将所述瞄准激光器(304)发出的瞄准激光和所述损伤用激光器(303)发出的损伤激光经所述激光扩束系统(302)准直后,通过所述激光聚焦系统(301)聚焦到靶材的同一点上;步骤二:所述指示光激光器(204)发出的指示光依次经过所述激光扩束准直镜(203)、所述双色反射镜(205)、所述聚焦透镜二(202)和所述聚焦透镜一(201)聚焦到所述靶材上,且与所述损伤用激光器(303)发出的损伤激光共点;步骤三:所述照明激光器(211)发出的照明激光聚焦到所述靶材上,且与所述损伤用激光器(303)发出的损伤激光共点,实现系统瞄准;所述辐照阶段包括以下步骤:步骤四:开启所述损伤用激光器(303),设定初始激光功率以及初始辐照时间,辐照所述靶材,同时所述激光电源(305)发出触发信号给所述程控计算机(400),开始计时;步骤五:在设定初始激光功率以及初始辐照时间内,判断所述靶材是否损伤,若损伤,则引起所述照明激光器(211)发出的照明激光的散射波变化,经所述聚焦透镜一(201)、所述聚焦透镜二(202)、所述双色反射镜(205)、所述窄带滤光片(206)和所述聚焦透镜三(207)后,使所述光电探测器(208)转换的电信号电平改变,使所述前放及比较电路(209)给出高电平信号或低电平信号,触发所述计时计算机(210),所述计时计算机(210)向所述程控计算机(400)发出信号,所述程控计算机(400)控制所述损伤用激光器(303)停止辐照,并控制所述三维电控目标靶台改变靶材的位置,并根据半分逼近法改变所述损伤用激光器(303)的激光功率或者按照预设的程序减少辐照时间,程控计算机(400)控制所述损伤用激光器(303)继续辐照靶材,直至所述计时计算机(210)向所述程控计算机(400)发出停止激光辐照信号,说明所述靶材表面刚好损伤;若不损伤,所述程控计算机(400)控制所述三维电控目标靶台改变靶材的位置,并根据倍数放大法改变所述损伤用激光器(303)的激光功率或者按照预设的程序增加激光辐照时间,继续辐照所述靶材,直至所述计时计算机(210)向所述程控计算机(400)发出停止激光辐照信号,说明所述靶材表面刚好损伤;步骤六:所述程控计算机(400)给出所述靶材的激光辐照时间和辐照的激光功率,结合靶材处损伤激光的光斑面积,计算出该靶材高功率连续激光损伤阈值。
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