[发明专利]一种铁电薄膜温度可靠性的评价方法在审
| 申请号： | 201910371399.7 | 申请日： | 2019-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN110031708A | 公开（公告）日： | 2019-07-19 |
| 发明（设计）人： | 彭强祥;罗远东;杨琼;廖敏;周益春 | 申请（专利权）人： | 湘潭大学 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文;麦小婵 |
| 地址： | 411100 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种铁电薄膜温度可靠性的评价方法，所述方法包括：获取铁电薄膜样品的初始特性，以得到所述铁电薄膜样品的初始性能参数；对所述铁电薄膜样品进行预极化处理，测得剩余极化值；根据所述铁电薄膜样品的热释电系数及相关参数与剩余极化值的比值，确定所述铁电薄膜样品是否合格。本发明由能够对铁电集成器件中由环境温度变化引起铁电薄膜性能波动而造成的器件性能可靠性下降进行预评估，能有效缩短产品研发周期，降低产品研发投入成，满足了实际应用需求。 | ||
| 搜索关键词： | 铁电薄膜 温度可靠性 产品研发 剩余极化 环境温度变化 铁电薄膜性能 热释电系数 预极化处理 初始特性 集成器件 器件性能 相关参数 性能参数 应用需求 铁电 评估 | ||
【主权项】：
1.一种铁电薄膜温度可靠性的评价方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：获取铁电薄膜样品的初始特性，以得到所述铁电薄膜样品的初始性能参数；对所述铁电薄膜样品进行预极化处理，测得剩余极化值；在预设基准测试温度下对所述铁电薄膜样品加载交变微热载荷，以得到所述铁电薄膜样品在不同载荷下的热释电系数；根据所述铁电薄膜样品的热释电系数及相关参数与剩余极化值的比值，确定所述铁电薄膜样品是否合格。
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