[发明专利]一种用于微型LED器件的柔性聚酰亚胺衬底及其制备方法在审
申请号: | 201910371453.8 | 申请日: | 2019-05-06 |
公开(公告)号: | CN110098302A | 公开(公告)日: | 2019-08-06 |
发明(设计)人: | 汤勇;李宗涛;卢汉光;宋存江;饶龙石;颜才满;丁鑫锐 | 申请(专利权)人: | 华南理工大学;华南理工大学珠海现代产业创新研究院 |
主分类号: | H01L33/48 | 分类号: | H01L33/48;H01L33/62 |
代理公司: | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人: | 何淑珍;江裕强 |
地址: | 510640 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于微型LED器件的柔性聚酰亚胺衬底及其制备方法。所述衬底由粗化铜柱以及改性聚酰亚胺组成。本发明的制备方法包括如下步骤:铜柱图案的制备,铜柱的成形以及粗化,聚酰亚胺的改性以及固化等。本发明的衬底以聚酰亚胺为主体,利用其柔性抵抗外界应力的冲击,可改善芯片及器件的力学性能,避免芯片开裂问题;本发明提出的制备方法,用铜柱粗化的方式,增加铜柱表面粗糙度,利用聚酰亚胺固化前流动性强的特点,提高铜电极与衬底主体材料的结合强度,从而避免电极从衬底脱落的问题。 | ||
搜索关键词: | 聚酰亚胺 衬底 铜柱 制备 粗化 微型LED 固化 改性聚酰亚胺 表面粗糙度 衬底主体 力学性能 芯片开裂 铜电极 电极 成形 改性 图案 芯片 抵抗 | ||
【主权项】:
1.一种用于微型LED器件的柔性聚酰亚胺衬底,其特征在于,所述衬底由粗化铜柱(1)和改性聚酰亚胺(2)组成;所述粗化铜柱(1)为方柱,侧面表面粗糙;所述改性聚酰亚胺(2)与粗化铜柱(1)高度相同。
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