[发明专利]评价显微视觉测量性能的空间纳米定位与检测装置及方法有效
| 申请号： | 201910371558.3 | 申请日： | 2019-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN110068267B | 公开（公告）日： | 2021-11-26 |
| 发明（设计）人： | 王瑞洲;康欢;王晗 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | G01B9/04 | 分类号： | G01B9/04 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 罗满 |
| 地址： | 510060 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种评价显微视觉测量性能的空间纳米定位与检测装置及方法，包括空间纳米定位平台、位移传感器和控制器；其中，空间纳米定位平台的轨迹追踪精度优于10纳米，位移传感器的测量精度优于2纳米，二者均优于轨迹追踪优于待评价的显微视觉测量系统的测量精度；空间纳米定位平台，承载显微视觉观测对象，执行特定轨迹及精度的定位，满足显微视觉测量需要；位移传感器，检测纳米定位平台位移量；控制器，实现空间多自由度纳米运动，以及实时评价显微视觉测量性能；本申请针对显微视觉测量系统，实现了一种体积小、全方位、多角度、高精度和自动化的通用性评价装置及方法。 | ||
| 搜索关键词： | 评价 显微 视觉 测量 性能 空间 纳米 定位 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种评价显微视觉测量性能的空间纳米定位与检测装置，其特征在于，包括空间纳米定位平台、位移传感器和控制器；其中，所述空间纳米定位平台的轨迹追踪精度优于10纳米，所述位移传感器的测量精度优于2纳米，所述空间纳米定位平台的轨迹追踪精度优于待评价的显微视觉测量系统的测量精度；所述空间纳米定位平台，用于承载待所述显微视觉观测系统观测的样品，在所述显微视觉测量系统测量范围内，执行特定位移；所述位移传感器，用于检测所述空间纳米定位平台的位移量；所述控制器，用于利用所述空间纳米定位平台的位移量和所述显微视觉测量系统获取所述样品的显微系统特征坐标集，按照预设的评估准则，得到所述显微视觉测量系统的量化评价结果。
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