[发明专利]一种薄膜材料去除的激光加工装置和方法有效
| 申请号： | 201910371641.0 | 申请日： | 2019-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN110125536B | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 王雪辉;王建刚;温彬;王玉莹;白娟娟 | 申请（专利权）人： | 武汉华工激光工程有限责任公司 |
| 主分类号： | B23K26/06 | 分类号： | B23K26/06;B23K26/064;B23K26/36;B23K26/402 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 徐瑛 |
| 地址： | 430223 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开一种薄膜材料去除的激光加工装置，沿着激光光线传播路径，依次设置：激光器、小孔光阑和透镜系统，所述透镜系统包括等效透镜一和透镜二，所述激光器发出的高斯光束经过小孔光阑及透镜系统后形成一个边缘锐利的像，同时所述高斯光束经过小孔光阑后，由于衍射现象而出现边缘不明显的衍射级次，不同的衍射级经过所述透镜系统汇聚叠加后将高斯光束的光斑成像为边缘锐利且平顶形状的光。本发明还公开一种薄膜材料去除的激光加工方法。本发明公开的装置和方法解决了平顶光斑整形技术复杂和薄膜材料应用难的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 材料 去除 激光 加工 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜材料去除的激光加工装置，其特征在于，沿着激光光线传播路径，依次设置：激光器、小孔光阑和透镜系统，所述透镜系统包括等效透镜一和透镜二，所述激光器发出的高斯光束经过小孔光阑及透镜系统后形成一个边缘锐利的像，同时所述高斯光束经过小孔光阑后，由于衍射现象而出现边缘不明显的衍射级次，不同的衍射级经过所述透镜系统汇聚叠加后将高斯光束的光斑成像为边缘锐利且平顶形状的光。
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