[发明专利]一种检测装置及检测方法在审
| 申请号： | 201910371850.5 | 申请日： | 2019-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN110006839A | 公开（公告）日： | 2019-07-12 |
| 发明（设计）人： | 兰洵;全铉国 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/3504 | 分类号： | G01N21/3504 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;胡影 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供一种检测装置及检测方法，检测装置用于检测晶棒的间隙氧含量，包括：承载台，用于承载待检测的晶棒，承载台上设置有用于旋转晶棒的调整机构；检测机构，用于检测晶棒的间隙氧含量；控制机构，用于控制调整机构调整晶棒上的检测区域至预设位置，控制检测机构检测晶棒上的检测区域的间隙氧含量。根据本发明的检测装置，将待检测的晶棒置于承载台上，通过承载台上设置的调整机构旋转晶棒，进而能够通过控制机构控制调整机构调整晶棒上的检测区域至预设位置，控制检测机构检测晶棒上的检测区域的间隙氧含量，以便能够检测不同晶向的晶棒上的不同区域的间隙氧含量，提高晶棒上间隙氧含量的检测结果的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 晶棒 间隙氧 检测 检测区域 承载 控制调整机构 调整机构 检测装置 预设位置 种检测 检测结果 承载台 晶向 | ||
【主权项】：
1.一种检测装置，用于检测晶棒的间隙氧含量，其特征在于，包括：承载台，用于承载待检测的晶棒，所述承载台上设置有用于旋转所述晶棒的调整机构；检测机构，用于检测所述晶棒的间隙氧含量；控制机构，用于控制所述调整机构调整所述晶棒上的检测区域至预设位置，控制所述检测机构检测所述晶棒上的所述检测区域的间隙氧含量。
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