[发明专利]一种体声波谐振器纵波模式下材料参数的提取方法在审
| 申请号： | 201910371907.1 | 申请日： | 2019-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN110135037A | 公开（公告）日： | 2019-08-16 |
| 发明（设计）人： | 赖志国;唐兆云;蔡洵;吴昊鹏;杨清华;赖亚明 | 申请（专利权）人： | 贵州中科汉天下微电子有限公司 |
| 主分类号： | G06F17/50 | 分类号： | G06F17/50;H03H9/00;H03H9/02 |
| 代理公司： | 北京元合联合知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11653 | 代理人： | 李非非;杨兴宇 |
| 地址： | 556000 贵州省黔东南*** | 国省代码： | 贵州;52 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种体声波谐振器纵波模式下材料参数的提取方法，该提取方法包括：构建体声波谐振器的Mason模型；对Mason模型进行简化处理以得到体声波谐振器的SIR模型，SIR模型的谐振频率仅与体声波谐振器的材料参数和结构参数有关、且SIR模型的谐振频率与Mason模型的并联谐振频率相等；建立SIR模型的谐振频率与体声波谐振器的材料参数以及结构参数之间关系式；测量得到多个体声波谐振器的并联谐振频率以及结构参数；根据关系式、以及测量得到的并联谐振频率和结构参数拟合得到体声波谐振器的材料参数。实施本发明可以准确提取出体声波谐振器的材料参数，且操作简单、成本低廉。 | ||
| 搜索关键词： | 材料参数 体声波谐振器 声波谐振器 结构参数 并联谐振频率 谐振频率 纵波模式 种体 测量 简化处理 构建体 拟合 相等 | ||
【主权项】：
1.一种体声波谐振器纵波模式下材料参数的提取方法，该提取方法包括：构建体声波谐振器的Mason模型，其中，所述体声波谐振器包括叠层结构，该叠层结构至少包括顶电极、压电层以及底电极；对所述Mason模型进行简化处理以得到所述体声波谐振器的SIR模型，所述SIR模型的谐振频率仅与所述体声波谐振器的材料参数和结构参数有关、且所述SIR模型的谐振频率与所述Mason模型的并联谐振频率相等，其中，所述材料参数是所述叠层结构中各层的纵波声速和材料密度，所述结构参数是所述叠层结构中各层的厚度；建立所述SIR模型的谐振频率与所述体声波谐振器的材料参数以及结构参数之间关系式；测量得到多个所述体声波谐振器的并联谐振频率以及结构参数，其中，每一所述体声波谐振器的并联谐振频率均不相同、且所述体声波谐振器的数量不少于所述材料参数的数量；根据所述关系式、以及测量得到的所述并联谐振频率和所述结构参数拟合得到所述体声波谐振器的材料参数。
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