[发明专利]一种基于全石英谐振器的探针式高精度力传感器在审
| 申请号： | 201910373857.0 | 申请日： | 2019-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN110017922A | 公开（公告）日： | 2019-07-16 |
| 发明（设计）人： | 韦学勇;任子明;王栋杰;任娟;赵玉龙;蒋庄德 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01L1/10 | 分类号： | G01L1/10 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人： | 贺建斌 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种基于全石英谐振器的探针式高精度力传感器，包括石英探针，石英探针和石英二阶放大梁的输入端连接，石英二阶放大梁通过四根支撑梁与石英基底框架连接，石英二阶放大梁的输出端和石英音叉梁一端连接，石英音叉梁位于石英基底框架的镂空矩形内，石英音叉梁另一端和石英基底框架连接，石英基底框架上溅射有金属电极，金属电极和石英音叉梁上的电极通过金属引线连接；当石英探针的敏感方向有力的作用，通过石英二阶放大梁放大后的力作用于石英音叉梁，石英音叉梁在轴向力的作用下，引起谐振频率发生变化，通过把振动的石英音叉梁1接入检测电路能够检测出频率变化，从而实现对力的检测；本发明具有结构简单、频率输出、体积小，精度高等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 石英 石英音叉 基底框架 二阶 大梁 石英探针 高精度力传感器 石英谐振器 金属电极 探针 接入检测电路 输入端连接 金属引线 频率变化 频率输出 谐振频率 一端连接 镂空矩形 输出端 体积小 支撑梁 轴向力 电极 检测 溅射 放大 敏感 | ||
【主权项】：
1.一种基于全石英谐振器的探针式高精度力传感器，其特征在于：包括作为传感器输入端的石英探针(6)，石英探针(6)和石英二阶放大梁(5)的输入端连接，石英二阶放大梁(5)通过四根支撑梁(4‑a、4‑b、4‑c、4‑d)与石英基底框架(3)连接，石英二阶放大梁(5)的输出端和石英音叉梁(1)一端连接，石英音叉梁(1)位于石英基底框架(3)的镂空矩形内，石英音叉梁(1)另一端和石英基底框架(3)连接，石英基底框架(3)上溅射有第一金属电极(2‑a)和第二金属电极(2‑b)，第一金属电极(2‑a)、第二金属电极(2‑b)和石英音叉梁(1)上的电极通过金属引线连接；当石英探针(6)的敏感方向有力的作用，通过石英二阶放大梁(5)放大后的力作用于石英音叉梁(1)，石英音叉梁(1)在轴向力的作用下，引起谐振频率发生变化，通过把振动的石英音叉梁(1)接入检测电路能够检测出频率变化，从而实现对力的检测。
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