[发明专利]实时自动分析低温等离子体激光汤姆逊散射诊断光谱方法有效
| 申请号： | 201910374496.1 | 申请日： | 2019-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN110248456B | 公开（公告）日： | 2020-07-24 |
| 发明（设计）人： | 丁洪斌;王勇;李聪;冯春雷;石劼霖 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | H05H1/00 | 分类号： | H05H1/00 |
| 代理公司： | 大连星海专利事务所有限公司 21208 | 代理人： | 裴毓英 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及低温等离子体诊断技术领域，提供一种实时自动分析低温等离子体激光汤姆逊散射诊断光谱方法，包括：步骤1，采集并获取光谱数据，所述光谱数据包括汤姆逊散射光谱、转动拉曼散射光谱、等离子体辐射背景光谱和强度校准系数；步骤2，对获取的光谱数据进行预处理；步骤3，基于最小二乘法，采用高斯函数对激光汤姆逊散射光谱进行理论拟合；步骤4，对激光汤姆逊散射光谱强度进行绝对校准；步骤5，基于最小二乘法，采用转动拉曼散射公式对转动拉曼散射光谱进行理论拟合；步骤6，计算等离子体参数。本发明能够快速地获取低温等离子体电子温度和电子密度，有效地提高激光汤姆逊散射光谱数据分析的准确性和效率。 | ||
| 搜索关键词： | 实时 自动 分析 低温 等离子体 激光 汤姆 散射 诊断 光谱 方法 | ||
【主权项】：
1.一种实时自动分析低温等离子体激光汤姆逊散射诊断光谱方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1，采集并获取光谱数据，所述光谱数据包括汤姆逊散射光谱、转动拉曼散射光谱、等离子体辐射背景光谱和强度校准系数；步骤2，对获取的光谱数据进行预处理；步骤3，基于最小二乘法，采用高斯函数对激光汤姆逊散射光谱进行理论拟合；步骤4，对激光汤姆逊散射光谱强度进行绝对校准；步骤5，基于最小二乘法，采用转动拉曼散射公式对转动拉曼散射光谱进行理论拟合；步骤6，计算等离子体参数，所述等离子体参数包括电子温度和电子密度。
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