[发明专利]液态金属辅助导热的激光剥离装置及方法在审
| 申请号： | 201910374729.8 | 申请日： | 2019-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN110102877A | 公开（公告）日： | 2019-08-09 |
| 发明（设计）人： | 卢敬权;庄文荣;孙明 | 申请（专利权）人： | 东莞市中镓半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/00 | 分类号： | B23K26/00;B23K26/146;B23K26/70;H01L21/78 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 罗泳文 |
| 地址： | 523000 *** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种液态金属辅助导热的激光剥离装置及方法，装置包括：加热器，用于提供待剥离衬底进行剥离时所需要的温度；晶圆载盘，位于加热器上，晶圆载盘用于承载液态金属，加热器通过晶圆载盘将热量传递给液态金属，液态金属再将热量传递给待剥离衬底，以加热待剥离衬底；密封腔，用于密封晶圆载盘，密封腔顶部具有激光窗口，用于提供激光进入腔体单元内的待剥离衬底表面的通道。本发明通过液态金属可与不同翘曲形状和不同翘曲程度的待剥离衬底紧密接触，实现对待剥离衬底进行均匀导热，从而大幅度拓宽激光剥离工艺窗口。本发明可极大的优化激光剥离技术，促使激光剥离技术被更广泛的应用。 | ||
| 搜索关键词： | 液态金属 剥离衬 晶圆 载盘 导热 加热器 激光剥离 激光剥离装置 热量传递 密封腔 翘曲 工艺窗口 激光窗口 进入腔 体单元 加热 密封 剥离 激光 承载 应用 优化 | ||
【主权项】：
1.一种液态金属辅助导热的激光剥离装置，其特征在于，所述激光剥离装置包括：加热器，用于提供待剥离衬底进行剥离时所需要的温度；晶圆载盘，位于所述加热器上，所述晶圆载盘用于承载液态金属，所述加热器通过所述晶圆载盘将热量传递给所述液态金属，液态金属再将热量传递给待剥离衬底，以加热所述待剥离衬底；密封腔，用于密封所述晶圆载盘，所述密封腔顶部具有激光窗口，用于提供激光进入所述腔体单元内的待剥离衬底表面的通道。
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