[发明专利]等离子体产生装置在审
| 申请号： | 201910375200.8 | 申请日： | 2015-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN110167248A | 公开（公告）日： | 2019-08-23 |
| 发明（设计）人： | 徐相勋;郑成炫 | 申请（专利权）人： | 威特尔有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 梁兴龙;曹正建 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供了一种等离子体产生装置和螺旋波等离子体模块。所述等离子体产生装置包括构造成在外部静磁场中产生螺旋波等离子体的多个螺旋波等离子体模块；和构造成通过接收在所述螺旋波等离子体模块中产生的等离子体来处理单个基板的主室。所述各螺旋波等离子体模块包括安装成围绕在所述主室的顶板上形成的通孔突出、由介电材料形成并具有圆筒形状的外部容器；在所述外部容器的中心轴方向上间隔配置并在所述外部容器的内部在中心轴方向上建立静磁场的永磁体；由介电材料形成、与所述外部容器隔开预定距离、配置在所述外部容器的内部并包括内部容器顶板的杯形内部容器；设置成缠绕所述外部容器的感应线圈；和由导体形成、从外部接收处理气体并安装在所述外部容器的顶表面上的外部容器顶板。所述内部容器顶板包括多个通孔并且具有在所述内部容器顶板和所述外部容器顶板的底表面之间形成的气体缓冲空间，其中在所述气体缓冲空间中积聚的处理气体经由所述内部容器顶板的通孔提供到所述内部容器的内部空间以产生等离子体。 | ||
| 搜索关键词： | 外部容器 等离子体 内部容器 螺旋波 等离子体产生装置 通孔 气体缓冲空间 介电材料 静磁场 中心轴 主室 处理气体 感应线圈 间隔配置 接收处理 预定距离 圆筒形状 导体 顶表面 永磁体 外部 杯形 隔开 基板 缠绕 积聚 配置 | ||
【主权项】：
1.一种等离子体产生装置，包括构造成在外部静磁场中产生螺旋波等离子体的多个螺旋波等离子体模块和构造成通过接收在所述螺旋波等离子体模块中产生的等离子体来处理单个基板的主室，其中所述各螺旋波等离子体模块包括：安装成围绕在所述主室的顶板上形成的通孔突出、由介电材料形成并具有圆筒形状的外部容器；在所述外部容器的中心轴方向上间隔配置并在所述外部容器的内部在中心轴方向上建立静磁场的永磁体；由介电材料形成、与所述外部容器隔开预定距离、配置在所述外部容器的内部并包括内部容器顶板的杯形内部容器；设置成缠绕所述外部容器的感应线圈；和由导体形成、从外部接收处理气体并安装在所述外部容器的顶表面上的外部容器顶板，其中所述内部容器顶板具有多个通孔，其中在所述内部容器顶板和所述外部容器顶板的底表面之间形成有气体缓冲空间，其中在所述气体缓冲空间中积聚的处理气体经由所述内部容器顶板的通孔提供到所述内部容器的内部空间以产生等离子体，其中所述内部容器具有沿着所述内部容器的底表面的圆周以一定间隔形成的多个沟槽，以及其中提供到所述缓冲空间的处理气体沿着所述内部容器与所述外部容器之间的间隙和所述沟槽提供到所述内部容器的内部空间。
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