[发明专利]液晶面板生产设备中Mask修复方法在审
| 申请号： | 201910375647.5 | 申请日： | 2019-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN110031991A | 公开（公告）日： | 2019-07-19 |
| 发明（设计）人： | 雷晓宏;马方明 | 申请（专利权）人： | 固安浩瀚光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13 |
| 代理公司： | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人： | 刘敏 |
| 地址： | 065500 河北省*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种液晶面板生产设备中Mask修复方法，包括以下步骤：Mask分解、Mask去涂层、Mask保护、Mask熔射、Mask去保护、Mask清洗和Mask组立打包；Mask分解是将Mask工件拆解；Mask去涂层是去除Mask表面沾染的覆膜；Mask保护是将Mask表面无需熔射的部分进行保护；Mask熔射是将Mask表面进行喷砂熔射；Mask去保护是将熔射检验合格的Mask的保护层去掉；Mask组立打包是将检测合格的洁净Mask打包。本发明采用上述液晶面板生产设备中Mask修复方法，修复效果好，可以保证Mask的再生利用。 | ||
| 搜索关键词： | 熔射 生产设备 液晶面板 修复 打包 去保护 组立 分解 再生利用 保护层 沾染 拆解 覆膜 喷砂 去除 清洗 洁净 检测 检验 保证 | ||
【主权项】：
1.一种液晶面板生产设备中Mask修复方法，其特征在于，包括以下步骤：Mask分解、Mask去涂层、Mask保护、Mask熔射、Mask去保护、Mask清洗和Mask组立打包；Mask分解是将Mask工件拆解；Mask去涂层是去除Mask表面沾染的覆膜；Mask保护是将Mask表面无需熔射的部分进行保护；Mask熔射是将Mask表面进行喷砂熔射；Mask去保护是将熔射检验合格的Mask的保护层去掉；Mask组立打包是将检测合格的洁净Mask打包。
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