[发明专利]一种微流量传感器及其制作系统和方法在审
| 申请号： | 201910379405.3 | 申请日： | 2019-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN110231064A | 公开（公告）日： | 2019-09-13 |
| 发明（设计）人： | 庄健;廖晓波;邓亚楼;郑强强 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01F1/34 | 分类号： | G01F1/34;G01L1/16;C25D3/38;C25D7/00 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 徐文权 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明一种微流量传感器及其制作系统和方法；所述传感器包括作为基底的压电薄膜，设置在压电薄膜正面或反面的微绒毛阵列，以及压电薄膜的正反两面分别设置的传感器电极；微绒毛阵列能够在气体或者液体的冲击下产生弯曲；压电薄膜将微绒毛阵列中弯曲变形的绒毛所引起的基底形变转换成电信号输出；传感器电极用于检测压电薄膜输出的电信号。通过单管探针局部电化学沉积的方法，在控制主机的实时监测和控制微位移执行器运动下，在压电薄膜上生长出绒毛阵列传感器。当阵列受到微流体不同方向冲击时，其微绒毛产生相应的应变，带动绒毛根部的压电薄膜产生微小形变，该形变在压电薄膜两极上产生微电压，通过实时监测微电压信号幅值进行微流量检测。 | ||
| 搜索关键词： | 压电薄膜 绒毛 微流量传感器 传感器电极 实时监测 制作系统 微电压 基底 微位移执行器 电化学沉积 电信号输出 阵列传感器 控制主机 绒毛根部 弯曲变形 微小形变 形变转换 正反两面 传感器 微流量 微流体 检测 形变 单管 探针 两极 输出 生长 | ||
【主权项】：
1.一种微流量传感器，其特征在于，包括作为基底的压电薄膜(4)，设置在压电薄膜(4)正面或反面的微绒毛阵列(3)，以及压电薄膜(4)的正反两面分别设置的传感器电极(10)；所述的微绒毛阵列(3)能够在气体或者液体的冲击下产生弯曲；所述的压电薄膜(4)将微绒毛阵列(3)中弯曲变形的绒毛所引起的基底形变转换成电信号输出；所述的传感器电极(10)用于检测压电薄膜(4)输出的电信号。
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