[发明专利]一种定向凝固生长晶体硅的铸锭炉及应用在审
申请号: | 201910379853.3 | 申请日: | 2019-05-08 |
公开(公告)号: | CN111910247A | 公开(公告)日: | 2020-11-10 |
发明(设计)人: | 陈仙辉;邹贵付;何亮;毛伟;雷琦 | 申请(专利权)人: | 赛维LDK太阳能高科技(新余)有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B11/00;C30B28/06 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 郝传鑫;熊永强 |
地址: | 338004 *** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 本发明实施例提供了一种定向凝固生长晶体硅的铸锭炉,包括:炉体,所述炉体包括相互配合的上炉体和下炉体,所述下炉体底部设置一轴孔;支撑台,所述支撑台包括旋转轴和固定在所述旋转轴一端的热交换台,所述热交换台上设有坩埚;所述旋转轴的另一端穿过所述轴孔,且与设置在所述下炉体外部的旋转驱动装置连接,所述旋转轴内还设有冷却液循环管道,所述冷却液循环管道用于通入冷却液并供所述冷却液循环流动,以实现所述旋转轴的循环冷却;护板,隔热笼和加热器。该铸锭炉实现对坩埚的均匀加热,可以大大改善硅锭各个侧面上存在的大量凹凸界面,可以显著减少制备得到的硅锭尾部红区,提升硅锭的质量和出材率。本发明还提供了该铸锭炉的应用。 | ||
搜索关键词: | 一种 定向 凝固 生长 晶体 铸锭 应用 | ||
【主权项】:
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