[发明专利]钙钛矿吸收层的制备方法及钙钛矿太阳能电池的加工方法

摘要

本发明提供一种钙钛矿吸收层的制备方法及钙钛矿太阳能电池的加工方法。其中该钙钛矿吸收层的制备方法，包括如下步骤：在气体发生腔内形成含有气态有机源的工艺气或者含有无机源的工艺气，并控制工艺气的温度达到预设工艺温度；将工艺气自气体发生腔引入反应腔，使反应腔内的压力达到预设反应压力、温度达到预设反应温度；将载有无机薄膜的衬底置入反应腔内，使无机薄膜与气态有机源或无机源反应，从而在衬底上形成钙钛矿吸收层。本发明提供的钙钛矿吸收层的制备方法，在独立的密闭腔室内形成气态有机源或无机源以及进行气固反应，降低反应初期因气态有机源或无机源浓度不均所造成的影响，提高钙钛矿吸收层的质量。

主权项

1.一种钙钛矿吸收层的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：在气体发生腔内形成含有气态有机源的工艺气或者含有无机源的工艺气，并控制所述工艺气的温度达到预设工艺温度；将达到预设工艺温度的所述工艺气自气体发生腔引入反应腔，使所述反应腔内的压力达到预设反应压力、温度达到预设反应温度；将载有无机薄膜的衬底置入所述反应腔内，使无机薄膜与所述气态有机源或所述无机源在所述预设反应温度和预设反应压力下反应，从而在所述衬底上形成钙钛矿吸收层。