[发明专利]一种窄支撑架高品质因数的压电谐振器在审
| 申请号： | 201910380938.3 | 申请日： | 2019-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN110098816A | 公开（公告）日： | 2019-08-06 |
| 发明（设计）人： | 王萍 | 申请（专利权）人： | 南阳理工学院 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/05;H03H9/17 |
| 代理公司： | 西安铭泽知识产权代理事务所(普通合伙) 61223 | 代理人： | 俞晓明 |
| 地址： | 473000*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种窄支撑架高品质因数的压电谐振器，衬底的表面开有凹槽且所述衬底的表面固定有所述支持层，所述支持层与所述凹槽之间形成所述空气隙且所述空气隙内填充有空气，所述支持层的表面固定有所述底层电极，所述底层电极的表面固定有所述压电层，所述压电层的表面固定有所述上层电极，所述支持层的下方设有多个高阻抗材料层以及低阻抗材料层，所述高阻抗材料层以及低阻抗材料层间隔设置且所述高阻抗材料层以及低阻抗材料层的层数相同，所述高阻抗材料固定在所述衬底上，所述低阻抗材料的上表面固定有所述支持层，本发明还公开了一种窄支撑架高品质因数的压电谐振器的制备方法。本发明机械强度更高且品质因数更高。 | ||
| 搜索关键词： | 支持层 高阻抗材料 表面固定 低阻抗材料层 高品质因数 压电谐振器 支撑架 衬底 底层电极 空气隙 压电层 间隔设置 品质因数 上层电极 低阻抗 上表面 制备 填充 | ||
【主权项】：
1.一种窄支撑架高品质因数的压电谐振器，其特征在于：包括衬底(1)、支持层(5)、底层电极(8)、空气隙(4)、上层电极(10)以及压电层(9)，所述衬底(1)的表面开有凹槽且所述衬底(1)的表面固定有所述支持层(5)，所述支持层(5)与所述凹槽之间形成所述空气隙(4)且所述空气隙(4)内填充有空气，所述支持层(5)的表面固定有所述底层电极(8)，所述底层电极(8)的表面固定有所述压电层(9)，所述压电层(9)的表面固定有所述上层电极(10)，所述支持层(5)的下方设有多个高阻抗材料层(6)以及低阻抗材料层(7)，所述高阻抗材料层(6)以及低阻抗材料层(7)间隔设置且所述高阻抗材料层(6)以及低阻抗材料层(7)的层数相同，所述高阻抗材料层(6)固定在所述衬底(1)上，所述低阻抗材料层(7)的上表面固定有所述支持层(5)。
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