[发明专利]一种双向振动的压电能量收集装置有效
| 申请号： | 201910384082.7 | 申请日： | 2019-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN110282593B | 公开（公告）日： | 2022-04-26 |
| 发明（设计）人： | 敖宏瑞;高珊;姜洪源 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人： | 宋诗非 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 一种双向振动的压电能量收集装置，涉及能量收集技术，本发明是为了解决传统的能量收集装置结构繁琐、能量采集效率低、输出低的问题。本发明所述的一种双向振动的压电能量收集装置中，两个质量块对称施加在硅衬底自由端两侧；硅衬底上开有水平方向和竖直方向的两个长方形通孔，形成水平悬臂梁与竖直悬臂梁；材料层附着在水平悬臂梁与竖直悬臂梁外表面，每个长方形通孔每个侧面上的压电层按照振动条件下受应力状态的不同分为两部分；每个悬臂梁振动条件下同一时刻受力状态相同的电极层相互串联，形成两个串联电路，两个串联电路并联后接入外部能量收集电路。该装置适用于集成电路、微机电系统及无线传感网络等领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双向 振动 压电 能量 收集 装置 | ||
【主权项】：
1.一种双向振动的压电能量收集装置，其特征在于，包括硅衬底、材料层和质量块；所述硅衬底的一端为自由端，另一端为固定端，两个质量块对称施加在自由端两侧；硅衬底上开有水平方向和竖直方向的两个长方形通孔，其中，水平方向的长方形通孔的上、下表面构成水平悬臂梁，竖直方向的长方形通孔的前、后表面构成竖直悬臂梁；所述材料层附着在水平悬臂梁与竖直悬臂梁的外表面，材料层由内向外依次为氧化物层、粘附层、底电极层、种晶层、压电层和顶电极层；每个长方形通孔每个侧面上的压电层按照振动条件下受应力状态的不同分为两部分；每个悬臂梁振动条件下同一时刻受力状态相同的电极层相互串联，形成两个串联电路，所述两个串联电路并联后接入外部能量收集电路。
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