[发明专利]一种MEMS麦克风及其制备方法、电子装置在审
| 申请号： | 201910387028.8 | 申请日： | 2019-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN111918190A | 公开（公告）日： | 2020-11-10 |
| 发明（设计）人： | 巴文民;范建国;方文斌 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R31/00 |
| 代理公司： | 北京市磐华律师事务所 11336 | 代理人： | 高伟;冯永贞 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种MEMS麦克风及其制备方法、电子装置。所述方法包括：形成振膜材料层；对所述振膜材料层进行第一次离子注入，以在所述振膜材料层的底部形成第一注入区域；对所述振膜材料层进行第二次离子注入，以在所述振膜材料层中所述第一注入区域的上方形成第二注入区域；执行退火步骤，以形成振膜层。本发明中对所述振膜材料层分别进行注入能量不同的离子并执行退火步骤，通过多层离子注入在振膜材料层内，再通过振膜材料层不同区域的离子浓度的组合来调节振膜材料层的应力，以达到理想的应力效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 麦克风 及其 制备 方法 电子 装置 | ||
【主权项】：
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