[发明专利]多频率多阶段的等离子体射频输出的方法及其装置有效
| 申请号： | 201910389487.X | 申请日： | 2019-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN111916327B | 公开（公告）日： | 2023-04-28 |
| 发明（设计）人： | 叶如彬 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海元好知识产权代理有限公司 31323 | 代理人： | 徐雯琼;张静洁 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种用于等离子体刻蚀的射频功率输出的方法，包括：提供多个射频发生器，每个射频发生器输出各自不同频率的射频功率，每个射频发生器输出的功率可变，提供控制器，所述控制器控制所述多个射频发生器在连续脉冲期间输出射频功率，所述连续脉冲的一个脉冲周期包括三个连续阶段，在每个阶段，至少一个射频发生器输出射频功率，所述三个连续阶段分别为产生等离子体阶段、刻蚀阶段、维持等离子阶段，所述脉冲周期的周期长度为50us‑0.1s。该方法可以实现更快的切换速度，在脉冲模式下进行带功率的射频频率切换。 | ||
| 搜索关键词： | 频率 阶段 等离子体 射频 输出 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
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