[发明专利]一种硅微谐振式压力传感器闭环检测系统

摘要

本发明公开了一种硅微谐振式压力传感器闭环检测系统，包括模拟电路模块和数字电路模块，所述模拟电路模块由前置放大模块、信号处理模块和激励模块组成，所述数字电路模块由模数转换模块、全数字锁相环模块和数模转换模块组成，所述前置放大模块由检测电路和放大滤波电路组成，所述信号处理模块由移相器组成，所述全数字锁相环模块由分频器、数字鉴相器、数字环路滤波器和数控振荡器组成。本发明避免了模拟电路存在的电路结构复杂，信号抗干扰性弱，波形失真，零点漂移等缺点，相比于模拟锁相环，分频器可根据输入信号不同进行设置，满足二分频，三分频等，不易受到外界温度和电压的影响，抗干扰性能更强且具有更高的精度。

主权项

1.一种硅微谐振式压力传感器闭环检测系统，其特征在于：包括模拟电路模块和数字电路模块，所述模拟电路模块由前置放大模块、信号处理模块和激励模块组成，所述数字电路模块由模数转换模块、全数字锁相环模块和数模转换模块组成，所述前置放大模块由检测电路和放大滤波电路组成，所述信号处理模块由移相器组成，所述全数字锁相环模块由分频器、数字鉴相器、数字环路滤波器和数控振荡器组成，所述谐振器输出的微弱信号经过检测电路检测再通过放大滤波电路放大，滤除杂波并修整波形，通过移相器对系统的相位进行调整，信号经过模数转换模块后输入到数字鉴相器，在数字鉴相器中与数控振荡器输出的反馈信号进行对比，检测出两者相位差，并将检测出的相位差信号转换成电压信号输出，信号经过数字环路滤波器滤波，然后作用于数控振荡器，数控振荡器的输出信号首先经过分频器将信号二分频再经过数模转换模块转换再进入激励模块，缩小其幅值后作为激励信号激励谐振器，实现传感器的全数字锁相环闭环检测系统。