[发明专利]基板烘烤设备及基板烘烤方法有效
| 申请号： | 201910391446.4 | 申请日： | 2019-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN111822288B | 公开（公告）日： | 2022-07-22 |
| 发明（设计）人： | 陈安顺 | 申请（专利权）人： | 群翊工业股份有限公司 |
| 主分类号： | B05D3/02 | 分类号： | B05D3/02 |
| 代理公司： | 北京律和信知识产权代理事务所(普通合伙) 11446 | 代理人： | 武玉琴;冷文燕 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种基板烘烤方法，其包含：上料步骤：控制上料装置将多个基板逐一地平放至基板承载框体中；进入步骤：控制移入装置，将承载有多个基板的基板承载框体，送入烘烤装置的烘烤通道中；移动步骤：控制烘烤装置中的通道移载机构，以使设置于烘烤通道中的基板承载框体，于烘烤通道中移动；离开步骤：控制移出装置，将承载有多个基板的基板承载框体，由烘烤装置的一出口端离开烘烤通道；卸料步骤：控制卸料装置将多个基板逐一地由基板承载框体中卸下。 | ||
| 搜索关键词： | 烘烤 设备 方法 | ||
【主权项】：
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