[发明专利]HfO2有效

专利信息
申请号: 201910391613.5 申请日: 2019-05-13
公开(公告)号: CN109989002B 公开(公告)日: 2021-05-28
发明(设计)人: 宗海涛;李明;康朝阳;卞琳艳;曹国华;张宝庆 申请(专利权)人: 河南理工大学
主分类号: C23C14/28 分类号: C23C14/28;C23C14/08;C23C14/54;C23C14/50
代理公司: 长沙星耀专利事务所(普通合伙) 43205 代理人: 舒欣
地址: 454000 河南*** 国省代码: 河南;41
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摘要: 发明公开了一种HfO2/VO2/HfO2三明治结构智能窗薄膜及其制备方法,属于功能材料和薄膜技术领域。所述HfO2/VO2/HfO2三明治结构智能窗薄膜的制备方法为:将无碱玻璃进行清洗、干燥;沉积之前,先将背底抽真空,沉积第一层HfO2缓冲层,然后将衬底温度升高,并调节氧压,沉积VO2薄膜;再将衬底温度降低,同时将氧压调低,开始沉积HfO2增透层,沉积完成后,即得所述HfO2/VO2/HfO2三明治结构智能窗薄膜。该HfO2/VO2/HfO2三明治结构智能窗薄膜可以保证二氧化钒薄膜具有较高太阳能调节效率(10%)的前提下,同时其可见光透过率也保持在50%左右。
搜索关键词: hfo base sub
【主权项】:
1.HfO2/VO2/HfO2三明治结构智能窗薄膜的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤一:将无碱玻璃进行清洗、干燥;步骤二:沉积之前,先将背底抽真空,沉积第一层HfO2缓冲层,然后将衬底温度升高,并调节氧压,沉积VO2薄膜;再将衬底温度降低,同时将氧压调低,开始沉积HfO2增透层,沉积完成后,即得所述HfO2/VO2/HfO2三明治结构智能窗薄膜。
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