[发明专利]HfO2

摘要

本发明公开了一种HfO2/VO2/HfO2三明治结构智能窗薄膜及其制备方法，属于功能材料和薄膜技术领域。所述HfO2/VO2/HfO2三明治结构智能窗薄膜的制备方法为：将无碱玻璃进行清洗、干燥；沉积之前，先将背底抽真空，沉积第一层HfO2缓冲层，然后将衬底温度升高，并调节氧压，沉积VO2薄膜；再将衬底温度降低，同时将氧压调低，开始沉积HfO2增透层，沉积完成后，即得所述HfO2/VO2/HfO2三明治结构智能窗薄膜。该HfO2/VO2/HfO2三明治结构智能窗薄膜可以保证二氧化钒薄膜具有较高太阳能调节效率（10%）的前提下，同时其可见光透过率也保持在50%左右。

主权项

1.HfO₂/VO₂/HfO₂三明治结构智能窗薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤一：将无碱玻璃进行清洗、干燥；步骤二：沉积之前，先将背底抽真空，沉积第一层HfO₂缓冲层，然后将衬底温度升高，并调节氧压，沉积VO₂薄膜；再将衬底温度降低，同时将氧压调低，开始沉积HfO₂增透层，沉积完成后，即得所述HfO₂/VO₂/HfO₂三明治结构智能窗薄膜。