[发明专利]一种分块式多波段滤镜的掩膜板成像系统有效
| 申请号： | 201910391739.2 | 申请日： | 2019-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN110174176B | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 冯华君;吴迪;周浩;徐之海;李奇;陈跃庭 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01J5/08 | 分类号： | G01J5/08 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 林超 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种分块式多波段滤镜的掩膜板成像系统。包括掩膜板相机和分块式多波段滤镜，所述的掩膜板相机为由掩膜板和光电传感器阵列组成的无透镜相机，光电传感器阵列是有多个光电传感器紧密阵列排布而成，掩膜板置于光电传感器阵列的探测面前方，光电传感器阵列的探测面布置有分块式滤镜；分块式多波段滤镜采用滤光片分块式布置，每个波段对应的滤光片连续排列。本发明提高了掩膜板相机的多波段成像质量，简化了多波段滤镜加工工艺，为掩膜板相机多波段成像奠定基础。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 分块 波段 滤镜 掩膜板 成像 系统 | ||
【主权项】：
1.一种分块式多波段滤镜的掩膜板成像系统，其特征在于：包括掩膜板相机和分块式多波段滤镜，所述的掩膜板相机为由掩膜板和光电传感器阵列组成的无透镜相机，光电传感器阵列是有多个光电传感器紧密阵列排布而成，掩膜板置于光电传感器阵列的探测面前方，光电传感器阵列的探测面布置有分块式滤镜；分块式多波段滤镜采用滤光片分块式布置，每个波段对应的滤光片连续排列。
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