[发明专利]一种柔性渐变电阻膜、其制备方法和应用有效

专利信息
申请号: 201910393845.4 申请日: 2019-05-13
公开(公告)号: CN110247193B 公开(公告)日: 2020-06-02
发明(设计)人: 江建军;别少伟;缪灵;贺云;李芮 申请(专利权)人: 华中科技大学
主分类号: H01Q15/00 分类号: H01Q15/00;H01Q17/00;H05K9/00;H01C17/00
代理公司: 华中科技大学专利中心 42201 代理人: 曹葆青;李智
地址: 430074 湖北*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明属于柔性渐变电阻膜吸波材料领域,更具体地,涉及一种柔性渐变电阻膜、其制备方法和应用。将设定的渐变电阻膜图案印在感光膜上,然后将其贴覆在柔性覆铜板上,依次进行曝光和显影;对显影后的柔性覆铜板进行刻蚀;对刻蚀后的柔性覆铜板的表面涂覆浆料状电阻膜,烧结使所述浆料状电阻膜固化;然后对烧结后的柔性覆铜板进行脱模,脱去感光膜以及其表面的电阻膜,显露出设定的渐变电阻膜的图案的铜质表面;对显露出设定的渐变电阻膜的图案的铜质表面进行部分刻蚀,除去部分铜质表面,除去铜质表面的部分显露出覆铜板衬底表面,未刻蚀除去铜质表面的部分仍表现为铜质表面,余下的区域表面为电阻膜,如此得到完整的柔性渐变电阻膜。
搜索关键词: 一种 柔性 渐变 电阻 制备 方法 应用
【主权项】:
1.一种柔性渐变电阻膜的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:S1:将设定的渐变电阻膜图案印在感光膜上,得到印有渐变电阻膜图案的感光膜;S2:将印有渐变电阻膜图案的感光膜贴覆在柔性覆铜板上,依次进行曝光和显影,得到显影后的柔性覆铜版,其中未被光照的感光膜区域被显影去除,显露出铜质表面;被光照的区域感光膜保留,显露出渐变电阻膜的图案;S3:对显影后的柔性覆铜板进行刻蚀,得到刻蚀后的柔性覆铜板;所述刻蚀以除去铜质表面的铜,显露出所述覆铜板衬底表面,同时保留贴覆在覆铜板上的感光膜,且该感光膜呈现设定的渐变电阻膜的图案;S4:在获得的柔性覆铜板的表面涂覆浆料状电阻膜,烧结使所述浆料状电阻膜固化;然后对烧结后的柔性覆铜板进行脱模,脱去感光膜以及其表面的电阻膜,显露出设定的渐变电阻膜的图案的铜质表面;S5:对显露出设定的渐变电阻膜的图案的铜质表面进行部分刻蚀,除去部分铜质表面,除去铜质表面的部分显露出覆铜板衬底表面,未刻蚀除去铜质表面的部分仍表现为铜质表面,余下的区域表面为电阻膜,得到包含铜质表面、覆铜板衬底表面以及电阻膜表面的柔性渐变电阻膜。
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