[发明专利]一种阵列基板及其制备方法、显示装置

摘要

本发明涉及显示领域，公开了一种阵列基板及其制备方法、显示装置，该阵列基板包括：多个光敏结构；每个光敏结构包括PIN器件和第一TFT；第一TFT包括：设于衬底上的第一电极；设于第一电极上的第一绝缘层；设于第一绝缘层上的第二电极；设于第二电极上的有源层，有源层贯穿第一绝缘层与第一电极接触，且有源层具有连接于第一电极和第二电极之间的沟道区；设于有源层上的第二绝缘层；设于第二绝缘层上的栅极，栅极覆盖沟道区；PIN器件设于第一TFT上且与栅极电连接。该阵列基板中的第一TFT尺寸较小，第一TFT与PIN器件之间结构紧凑，在平行于衬底上占用面积较小，可以有效提高产品的像素密度，有利于高PPI的产品生产。

主权项

1.一种阵列基板，其特征在于，包括：衬底、设于所述衬底上的多个光敏结构；每个所述光敏结构包括PIN器件和第一TFT；其中，所述第一TFT包括：设于所述衬底上的第一电极；设于所述第一电极上的第一绝缘层；设于所述第一绝缘层上的第二电极；设于所述第二电极上的有源层，所述有源层贯穿所述第一绝缘层与所述第一电极接触，且所述有源层具有连接于所述第一电极和第二电极之间的沟道区，所述沟道区包括与所述第一电极接触的第一接触区、与所述第二电极接触的第二接触区、以及位于所述第一接触区和第二接触区之间的连接区；设于所述有源层上的第二绝缘层；设于所述第二绝缘层上的栅极，在垂直于所述衬底的方向上，所述栅极覆盖所述沟道区；所述PIN器件设于所述第一TFT上且与所述栅极电连接。