[发明专利]一种用于瞬态三坐标测量的光纤点衍射干涉装置及方法有效
申请号: | 201910394156.5 | 申请日: | 2019-05-13 |
公开(公告)号: | CN110160443B | 公开(公告)日: | 2021-04-20 |
发明(设计)人: | 王道档;王朝;孔明;许新科;赵军;刘维;郭天太 | 申请(专利权)人: | 中国计量大学 |
主分类号: | G01B11/00 | 分类号: | G01B11/00;G01B9/02 |
代理公司: | 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 | 代理人: | 尉伟敏 |
地址: | 310018 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于瞬态三坐标测量的光纤点衍射干涉装置,包括:光源,提供初始的入射光至光路调整模块;光路调整模块,将入射光分为若干束偏振光射出;数字偏振相机,接收出射光并采集所需干涉图像;计算机,与数字偏振相机连接,处理图像信息。本发明的实质性效果包括:采用偏振数字相机采集p偏振光和s偏振光经快轴方向与X轴呈45°夹角的四分之一波片得到的旋向相反的圆偏振光,两个旋向相反的偏振光经偏振数字相机前置的偏振片阵列后发生干涉,随着偏振片的透光轴方向旋转,干涉条纹相位也随之改变,无需PZT来实现微位移,降低了检测系统元件的复杂程度,提高了点衍射干涉系统的抗干扰能力。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 瞬态 坐标 测量 光纤 衍射 干涉 装置 方法 | ||
【主权项】:
1.一种用于瞬态三坐标测量的光纤点衍射干涉装置,其特征在于,包括:光源,提供初始的入射光至光路调整模块;光路调整模块,将入射光分为若干束偏振光射出;数字偏振相机(14),接收出射光并采集所需干涉图像;计算机(15),与数字偏振相机(14)连接,处理图像信息。
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