[发明专利]压敏元件、压敏元件的制备方法和压力传感器在审

专利信息
申请号: 201910394886.5 申请日: 2019-05-13
公开(公告)号: CN111928980A 公开(公告)日: 2020-11-13
发明(设计)人: 聂泳忠 申请(专利权)人: 西人马联合测控(泉州)科技有限公司
主分类号: G01L1/18 分类号: G01L1/18;G01L9/02
代理公司: 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 代理人: 娜拉
地址: 362000 福建*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 发明公开了一种压敏元件、压敏元件的制备方法和压力传感器。压敏元件包括:基座,包括外壳以及信号输出件,外壳具有容纳腔室,信号输出件连接于外壳且至少部分延伸进入容纳腔室;感应件,与基座连接并封闭容纳腔室,感应件具有预定的缓冲变形能力,感应件包括相互连接的本体以及连接部,本体与外壳连接且连接部位于容纳腔室内,连接部以及与连接部连接的至少部分本体由不锈钢材料制成;检测组件,设置于容纳腔室并与信号输出件以及感应件连接,检测组件包括振动梁和检测电极,检测电极设置在振动梁面向感应件的表面并与信号输出件电连接,振动梁与连接部键合连接。本发明提供的压敏元件能够实现大量程的压力测量,而且测量精度高。
搜索关键词: 元件 制备 方法 压力传感器
【主权项】:
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