[发明专利]基于白光干涉光谱的同步相移测量系统与方法有效
| 申请号： | 201910395069.1 | 申请日： | 2019-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN110186388B | 公开（公告）日： | 2021-04-06 |
| 发明（设计）人： | 郭彤;袁琳;边琰;陈卓;傅星;胡小唐 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 韩帅 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明提供基于白光干涉光谱的同步相移测量系统，包括：光源单元、测量干涉单元、图像探测单元、光谱干涉单元和数据处理单元；其中所述光源单元对照明光源生成偏振光源信号；所述测量干涉单元对偏振光源信号处理生成测量偏振光源信号P和参考偏振光源信号S；所述图像探测单元将测量偏振光源信号P和参考偏振光源信号S一部分通过CCD相机前的检偏器形成干涉，被CCD相机探测处理，一部分传输给所述光谱干涉单元；所述光谱干涉单元对部分的振光源信号P和参考偏振光源信号S再次分光生成具有90°相位差的干涉信号传输给数据处理单元，该系统通过引入空间相移，对具有90°相位差的两帧光谱干涉信号进行分析，实现对表面形貌的快速高精度测量。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 白光 干涉 光谱 同步 相移 测量 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.基于白光干涉光谱的同步相移测量系统，包括：光源单元、测量干涉单元、图像探测单元、光谱干涉单元和数据处理单元；其特征在于：所述光源单元对照明光源生成偏振光源信号；所述测量干涉单元对偏振光源信号处理生成测量偏振光源信号P和参考偏振光源信号S；所述图像探测单元将测量偏振光源信号P和参考偏振光源信号S一部分通过CCD相机前的检偏器形成干涉，被CCD探测处理，一部分传输给所述光谱干涉单元；所述光谱干涉单元对部分的偏振光源信号P和参考偏振光源信号S再次分光，经过光谱仪前的检偏器，生成具有90°相位差的干涉光谱信号传输给数据处理单元。
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