[发明专利]固化性组合物、固化产物及其生产方法、以及光学组件、电路板和电子组件的制造方法有效
申请号: | 201910396457.1 | 申请日: | 2015-04-28 |
公开(公告)号: | CN110275394B | 公开(公告)日: | 2022-12-06 |
发明(设计)人: | 加藤顺;川崎阳司;米泽诗织;伊藤俊树 | 申请(专利权)人: | 佳能株式会社 |
主分类号: | G03F7/027 | 分类号: | G03F7/027;G03F7/031;G03F7/029;H01L21/033;H01L21/308 |
代理公司: | 北京魏启学律师事务所 11398 | 代理人: | 魏启学 |
地址: | 日本东京都大*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: |
本发明涉及固化性组合物、固化产物及其生产方法、以及光学组件、电路板和电子组件的制造方法。提供一种纳米压印用固化性组合物,其即使当在低曝光量下通过光纳米压印方法使所述固化性组合物固化时,也能够形成具有充分固化的表面且图案倒塌缺陷倾向较小的固化产物。提供形成此类固化产物的纳米压印方法。提供即使在低曝光量下固化时图案倒塌缺陷倾向也较小的固化产物,此类固化产物的制造方法,光学组件的制造方法,电路板的制造方法和电子组件的制造方法。一种固化性组合物,其在固化状态下满足式(1):Er |
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搜索关键词: | 固化 组合 产物 及其 生产 方法 以及 光学 组件 电路板 电子 制造 | ||
【主权项】:
1.一种固化性组合物,其特征在于,其在固化状态下满足下式(1)和下式(3):Er1/Er2≧1.10 (1)Er1≧3.00 (3)其中,Er1表示所述固化性组合物的固化产物的表面折减弹性模量,单位为GPa,和Er2表示所述固化产物的内部折减弹性模量,单位为GPa。
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