[发明专利]一种用于晶棒的粘棒工装及其切割晶棒的工艺在审
| 申请号： | 201910397489.3 | 申请日： | 2019-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN109968550A | 公开（公告）日： | 2019-07-05 |
| 发明（设计）人： | 马原;周炎;黄振华 | 申请（专利权）人： | 江苏高照新能源发展有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00;B28D7/04 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 楼高潮 |
| 地址： | 226100 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种用于晶棒的粘棒工装及其切割晶棒的工艺，包括导轨、基座、工作台、气缸外壳，基座连接处通过铰链固定连接在工作台上，工作台上端设有气缸外壳，气缸外壳内设有气缸，导轨水平安装在基座上，工作台底部设置支撑脚，工作台正面上端设有升降控制台，气缸外壳的上端沿横向设有上下对称分布的上限位器、下限位器，工作台内侧还设有升降装置，升降装置包括升降推杆和底杆，升降推杆上端固定铰链连接基座的下端面上，升降推杆下端与底杆中空内部插接配合，底杆底部固定连接在工作台底座。本发明的粘棒工装涂操作简单，胶水层厚度均匀，清除残胶方便；在固定晶棒的方式上通过限位器能保证晶棒不发生相对位移，减少了企业生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 工作台 气缸外壳 晶棒 升降推杆 上端 工装 底杆 粘棒 切割晶棒 升降装置 下端 工作台底座 升降控制台 插接配合 导轨水平 厚度均匀 基座连接 铰链连接 企业生产 上端固定 上下对称 上限位器 下限位器 相对位移 胶水层 限位器 支撑脚 中空 残胶 导轨 铰链 气缸 保证 | ||
【主权项】：
1.一种用于晶棒的粘棒工装，包括导轨、基座、工作台、气缸外壳，其特征在于，所述基座的连接处通过铰链固定连接在工作台上，所述工作台的上端设有气缸外壳，气缸外壳内设有气缸，所述导轨水平安装在所述基座上，所述工作台底部设置支撑脚，所述工作台正面上端设有升降控制台，在所述气缸外壳的上端沿横向设有上下对称分布的上限位器、下限位器，所述工作台内侧还设有升降装置，所述升降装置包括升降推杆和底杆，所述升降推杆上端固定铰链连接基座的下端面上，所述升降推杆下端与底杆中空内部插接配合，所述底杆底部固定连接在工作台底座。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏高照新能源发展有限公司，未经江苏高照新能源发展有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910397489.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：可锁止的晶圆片放置架
- 下一篇：基于磁极增压原理气动平稳的半导体晶圆切割装置
