[发明专利]一种化学气相沉积生产石墨烯异质结的装置

摘要

本发明属于化学气相沉积领域，具体公开了一种化学气相沉积生产石墨烯异质结的装置，包括：设置在竖直方向上的彼此相对的可升降的上加热器和可升降的下加热器；支撑架，固定设置在所述下加热器上；托盘，设置在所述支撑架远离所述下加热器的一侧，用于承载基板；悬浮催化剂装置，用于提供催化剂至所述基板正上方；所述支撑架的平行所述下加热器和所述托盘两者的横截面的尺寸从所述下加热器至所述托盘逐渐减小，且所述托盘用于承载基板的表面高于所述支撑架；所述支撑架可导电，所述基板通过所述托盘内嵌装的导电线电连接所述支撑架。本发明能够提高石墨烯异质结的质量保证。

主权项

1.一种化学气相沉积生产石墨烯异质结的装置，其特征在于，所述装置包括：设置在竖直方向上的彼此相对的可升降的上加热器(1)和可升降的下加热器(2)；支撑架(3)，固定设置在所述下加热器(2)上，且位于所述下加热器(2)和所述上加热器(1)之间；托盘(4)，设置在所述支撑架(3)远离所述下加热器(2)的一侧，用于承载基板；悬浮催化剂装置(6)，用于提供催化剂至所述基板正上方；所述支撑架(3)的平行所述下加热器(2)和所述托盘两者的横截面的尺寸从所述下加热器(2)至所述托盘(4)逐渐减小，且所述托盘(4)用于承载基板的表面高于所述支撑架(3)；所述支撑架(3)可导电，所述基板通过所述托盘(4)内嵌装的导电线电连接所述支撑架(3)。