[发明专利]解决PERC电池EL下舟印的方法有效

专利信息
申请号: 201910399559.9 申请日: 2019-05-14
公开(公告)号: CN110233188B 公开(公告)日: 2021-08-24
发明(设计)人: 张自铭;朱彦斌;杨灼坚 申请(专利权)人: 江苏润阳悦达光伏科技有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L31/0224;H01L31/049
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 224000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明属于晶硅太阳能电池制造领域,具体涉及一种解决PERC电池EL下舟印的方法,该方法为在石墨舟长时间待机时运行烘舟工艺,该方法包括进舟、升温、第一次抽真空、测漏、第二次抽真空、预处理、淀积、第三次抽真空、第一次吹扫、第四次抽真空、第二次吹扫以及出舟步骤,本发明能有效解决EL下舟印不良,提升PERC电池的良率。
搜索关键词: 解决 perc 电池 el 下舟印 方法
【主权项】:
1.一种解决PERC电池EL下舟印的方法,其特征在于,在石墨舟长时间待机时运行烘舟工艺,该方法包括以下步骤:步骤(1)进舟:温度500—550℃,压力10000mTor;步骤(2)升温:时间700—800S,温度500—550℃,压力10000mTor;步骤(3)第一次抽真空:时间100—200S,温度500—550℃,压力0 mTor;步骤(4)测漏:时间10—50S,温度500—550℃,压力10000 mTor;步骤(5)第二次抽真空:时间10—100S,温度500—550℃,压力0 mTor;步骤(6)预处理:时间10—100S,温度500—550℃,硅烷1000—2000sccm,氨气5000‑8000sccm,压力1000—2000 mTor;步骤(7)淀积:时间500—1000S,温度500—550℃,硅烷1000—2000sccm,氨气5000—8000sccm,压力1000—2000 mTor,功率8000—15000W,脉冲开30—80mS,脉冲关500—1000mS;步骤(8)第三次抽真空:时间10—100S,温度400—500℃,压力0 mTor;步骤(9)第一次吹扫:时间10—100S,温度400—500℃,氮气10000—20000sccm,压力10000 mTor;步骤(10)第四次抽真空:时间10—100S,温度400—500℃,压力0 mTor;步骤(11)第二次吹扫:时间10—100S,温度400—500℃,氮气10000—20000sccm,压力10000 mTor;步骤(12)出舟:温度500—550℃,压力10000 mTor。
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